
-
Высокая точность обработки: TTV ≤ 2 мкм
-
Для пластин ≤ 6" и нестандартных форм
-
Bluetooth-контроль диска и авто-восстановление
-
Давление 2 г/см²
-
модуль давления на заказ
-
Закрытая зона для чистых помещений высокого класса
-
Хранение и редактирование ≥100 программ
-
Контроль температуры диска и автоохлаждение
-
Система промывки: водяной и воздушный пистолеты