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晶圆样品通过抽真空的方式吸附在夹具底面,并可以根据用户工艺要求定制各种角度附件等非标夹具附件,并实现对非标形状样品的抛光及角度抛光。
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夹具带有蓝牙选配功能,可在线监测样品的去除量,精度lum。
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晶圆背压力范围可以调节、并可以根据用户要求,定制不同重量的配重块。
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