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夹具
MCF品牌精密夹具采用高强度耐腐蚀材料,适用于半导体材料和光电材料的研磨和抛光。
  • 晶圆样品通过抽真空的方式吸附在夹具底面,并可以根据用户工艺要求定制各种角度附件等非标夹具附件,并实现对非标形状样品的抛光及角度抛光。
  • 夹具带有蓝牙选配功能,可在线监测样品的去除量,精度lum。
  • 晶圆背压力范围可以调节、并可以根据用户要求,定制不同重量的配重块。

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