
-
3-зонное управление давлением полировальной головки
-
Наноточная точность
-
Лучшие в отрасли шероховатость
-
скорость и стабильность
-
Точная оптическая детекция конечной точки (EPD)
-
Хранение и редактирование 100+ программ
-
Контроль температуры
-
автоохлаждение и промывка диска
-
2–6 дюймов и нестандартные кристаллы
-
Давление полировальной головки: 0.5–8 psi