
-
3-зонное управление давлением полировальной головки
-
2–8 дюймов и нестандартные кристаллы
-
Наноточная точность
-
Лучшие в отрасли шероховатость
-
скорость и стабильность
-
Точная оптическая детекция конечной точки (EPD)
-
Макс. давление полировальной головки — 12 psi
-
Хранение и редактирование 100+ программ
-
Контроль температуры диска
-
автоматическое охлаждение и промывка