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高精密CMP设备引领超光滑表面加工新潮流

在光学材料研发领域,研磨抛光机搭载的化学机械抛光(CMP)技术,正重新定义超透光学玻璃的加工极限。


针对石英、氟化钙等脆性材料在医疗内窥镜、高精度检测仪器及纳米级光学镜头中的严苛需求,CMP通过精密调控纳米磨料与反应试剂的协同作用,实现表面粗糙度≤0.2nm的超光滑加工。


在航天级镜片制造中,智能压力补偿技术使厚度公差稳定在±0.1μm,消除传统工艺导致的微裂纹缺陷。高精密CMP设备为高端光学产业树立精密制造的全球标杆。


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