激光干涉仪FMS150

FMS150激光干涉仪为精密平面零件制造商提供纳米级的表面平面度测量性能。采用非接触式光学干涉技术可以快速分析零件的整个表面，可以帮助用户快速分析从光滑到粗糙平面的平面度轮廓误差。

功能特点描述

技术应用

·掠入射干涉技术：纵向分辨率达到10nm，动态测量范围达到100um
·非接触测量：避免传统接触式测量仪对精密表面的损伤
·大视场一次性干涉成像：150mm全口径测量仅需数秒
·采用光学干涉技术，实现材料平面度测量；
·150mm及以下样品测量；
·支持快速无损检测；
·快速、简单、精确、可重复性高；
·一个条纹周期代表1.82um；

· 型号名称：FMS150
· 有效测量口径：Ø150mm
·测量光源：630nm
·平面度测量范围：>100um
·测量分辨率：干涉条纹图像定性分析
·测量精度：干涉条纹图像定性分析
·软件功能：实时显示干涉条纹图像
·环境要求：温度22±2℃, 湿度<60%
·设备尺寸：600mm*400mm*410mm
·此款激光干涉仪利用掠入射光线与表面相互作用，通过测量反射光的干涉图案来获取表面的形状信息。这种方法特别适用于粗糙表面的测量，因为掠入射光线能够更好地覆盖表面的微小变化，减少高对比度斑点噪声的干扰，从而提高测量的灵敏度和精度。

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