В ключевых этапах производства пластин точность и эффективность полировки напрямую влияют на качество и производительность конечной продукции. Оборудование Beijing AMC для полировки пластин, благодаря профессиональным технологиям, выдающейся производительности и широкой совместимости, стало лидером в отрасли, обеспечивая мощный импульс для обработки полупроводниковых пластин.

Например, система точной шлифовки и полировки серии GNAD-E демонстрирует впечатляющие результаты. Она обеспечивает высокоточное химико-механическое полирование как для распространённых материалов (кремний, карбид кремния), так и для специальных (кварц, фосфид индия). Конструкция позволяет выбирать коррозионностойкие или стандартные материалы для компонентов в зависимости от условий эксплуатации. Независимый безмасляный вакуумный насос и защита от обратного всасывания предотвращают загрязнение чистых помещений. Удобная сенсорная панель управления, расположенная снаружи рабочей зоны, обеспечивает простой доступ и настройку параметров, исключая воздействие полировальной жидкости.